Kシリーズ総玉形組合せセラミック軸受
型番 3NC□□□□VST4-1 / Kシリーズ / 株式会社ジェイテクト
超薄肉形の総玉形セラミック軸受。クリーン・真空用途に対応する。
仕様
| 雰囲気圧力 | 大気圧～10-5 Pa |
|---|---|
| 使用温度 | -30～200 ℃ |
| 許容ラジアル荷重 | 基本動定格荷重の約3%以下 |
製品説明
超薄肉形玉軸受にクリーン仕様を施し、クリーン環境や真空用途に適応する。
特長
- 超薄肉形
- クリーン仕様
用途
- ウェーハ搬送ロボット
- 液晶製造装置
- 半導体製造装置
出典資料
- カタログ 特殊環境用 EXSEV 商品ガイド
- カタログ 半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①②