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EXSEV 軸受・セラミック軸受シリーズ

EXSEV / 株式会社ジェイテクト

クリーン・真空・高温・腐食など特殊環境や非磁性・絶縁・高速などの特殊性能が必要な用途向けの軸受シリーズ。窒化けい素などのセラミック軸受と特殊鋼軸受を含む。

仕様

窒化けい素の密度 3.2 g/cm3
窒化けい素のビッカース硬さ 1500 HV
窒化けい素の耐熱性(大気中) 800 ℃
窒化けい素の縦弾性係数 320 GPa

製品説明

窒化けい素を標準材料とした総セラミック軸受と組合せセラミック軸受を中心に、特殊鋼材料や各種固体潤滑剤・ふっ素グリースを組み合わせ、半導体製造装置などの特殊環境に対応する。非磁性、絶縁、高速回転、耐食用途の選定情報を掲載する。

特長

  • 窒化けい素による低密度・高剛性
  • 非磁性で電食を防止できる絶縁性
  • クリーン・真空対応の潤滑剤を選定可能
  • 耐食性に優れた材料の選択肢

用途

  • 半導体製造装置
  • 真空装置
  • クリーン環境
  • 耐食用途
  • 高温環境
  • 非磁性用途
  • 絶縁用途
  • 高速回転機器

出典資料

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