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LWL・LWES・LWHSシリーズ 特殊環境用リニアウェイ

LWL・LWES・LWHS系 / 株式会社ジェイテクト

スライドユニットがトラックレール上を無限直線運動する、クリーン・真空対応の直線運動軸受ユニット。

仕様

レール幅W1 15～30 mm
基本動定格荷重C 11600 N

製品説明

玉が循環する構造で、スライドユニットとトラックレールを取付ボルトで固定して使用する。組合せセラミック仕様もある。

特長

  • 高精度直線運動
  • クリーン・真空対応
  • 組合せセラミック仕様あり

用途

  • 半導体製造装置
  • クリーン環境の直線運動機構

出典資料

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