Newクリーンプロ-PR仕様 組合せセラミックリニア玉軸受
Newクリーンプロ-PR / 株式会社ジェイテクト
低発じん性に優れ、クリーン環境や高温環境で使えるリニア玉軸受。
仕様
| ストローク速度 | 5 mm/s |
|---|
製品説明
組合せセラミック構成のリニア玉軸受で、低発じん性とクリーン環境対応を特長とする。高温・真空環境でも使用されている。
特長
- 低発じんでクリーン環境に対応
- 高温・真空に対応
用途
- 液晶パネル封着炉
- 半導体搬送装置
- CVD装置
出典資料
- カタログ 特殊環境用軸受シリーズ セラミック軸受