SDM・SDMF・SDMKシリーズ 特殊環境用リニア玉軸受
SDM系 / 株式会社ジェイテクト
外筒に玉・保持器・シールドを組み込んだ無限直線運動の高精度リニア玉軸受。クリーン・真空環境で使用できる。
仕様
| 軸径 | 3～60 mm |
|---|---|
| 基本動定格荷重(SDM6) | 323 N |
| 基本動定格荷重(SDM60W) | 7550 N |
製品説明
標準形、すきま調整形、開放形、丸フランジ・角フランジ付き、2連形などを揃える。潤滑はEXSEV-EX、New クリーンプロ-PR、EXSEV-MG、EXSEV-MOから選べる。
特長
- 無限直線運動
- クリーン・真空対応
- フランジ付きや2連形などの形式あり
用途
- 半導体製造装置
- 真空環境の直線運動機構