熱処理装置

• 拡散炉

• 拡散炉

  縦型熱処理システム VF-5900

  型番: VF-5900

  酸化・拡散・LP-CVDなど各種プロセスに対応する300mmウェーハ用縦型熱処理システム。

  株式会社ジェイテクト