縦型熱処理システム VF-5900
型番 VF-5900 / 株式会社ジェイテクト
酸化・拡散・LP-CVDなど各種プロセスに対応する300mmウェーハ用縦型熱処理システム。
仕様
| 対応ウェーハ径 | 300 mm |
|---|
特長
- クリーン対応
- 300mmウェーハ対応
用途
- 酸化
- 拡散
- LP-CVD
出典資料
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深溝玉軸受
深溝玉軸受
ラジアル荷重と両方向のアキシアル荷重を受けられる単列の玉軸受。高速回転や低振動の用途に向く。内径100～1420mmの寸法表を掲載。
株式会社ジェイテクト
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アンギュラ玉軸受
アンギュラ玉軸受
接触角により一方向または両方向のアキシアル荷重に対応するアンギュラ玉軸受。単列と背面・正面の組合せ(DB・DF)があり、内径100～300mm程度の寸法を掲載。
株式会社ジェイテクト
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アンギュラ玉軸受
単列・組合せアンギュラ玉軸受
内径310〜670mmの大型単列・組合せアンギュラ玉軸受。ラジアル荷重とアキシアル荷重を同時に受けられる。
株式会社ジェイテクト
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アンギュラ玉軸受
複列アンギュラ玉軸受
内径120〜280mmの複列アンギュラ玉軸受。両方向のラジアル・アキシアル荷重を受けられる。
株式会社ジェイテクト
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円筒ころ軸受
単列円筒ころ軸受
内径100〜850mmの単列円筒ころ軸受。ラジアル荷重が大きく、重荷重や衝撃荷重に適する。
株式会社ジェイテクト
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円筒ころ軸受
複列円筒ころ軸受
内径100〜670mmの複列円筒ころ軸受。円筒穴とテーパ穴があり、テーパ穴は押し込み量で所定のすきまを得られる。
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