EXSEV-FA
EXSEV-FA / 株式会社ジェイテクト
ふっ素系高分子で潤滑する固体潤滑型の低発じん軸受で、クリーン・真空に対応する。
製品説明
潤滑性に富んだふっ素系高分子を用いた固体潤滑軸受。保持器にも発じんの少ないふっ素樹脂を使用している。
特長
- 固体潤滑
- ふっ素樹脂製保持器
- クリーン・真空対応
用途
- 半導体製造装置
- 液晶製造装置
- 搬送装置
- 検査装置
出典資料
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