クリーンプロ-RB
クリーンプロ-RB / 株式会社ジェイテクト
260℃まで真空中で使用できる、低発じん性のラジアル玉軸受。
仕様
| 使用温度 | 260 ℃ |
|---|---|
| 許容回転速度 | 1000 min-1 |
製品説明
軸受の転がり面に形成したふっ素高分子被膜で潤滑する。低発じん性で、真空中において260℃まで使用できる。
特長
- 260℃真空対応
- 低発じん
- クリーン用途
用途
- 半導体製造装置
- 液晶製造装置
- 搬送装置
- 真空機器
- スパッタ装置
出典資料
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