EXSEV®-MG
EXSEV® / 株式会社ジェイテクト
銀イオンプレーティング玉で高温・超高真空に対応し、低放出ガスを実現する軸受。
仕様
| 雰囲気圧力 | 10-5～10-10 Pa |
|---|---|
| 使用温度 | -200～350 ℃ |
| 許容回転速度 | dmn値＜18000、最大1000 min-1 |
| 許容ラジアル荷重 | 基本動定格荷重の約3%以下 |
製品説明
銀イオンプレーティングの玉により高温・高真空での低放出ガスを実現する。組立時は大気との接触を避ける必要がある。
特長
- 銀イオンプレーティング玉
- 超高真空対応
用途
- 半導体製造装置
- 液晶製造装置
- 真空蒸着装置
- 医療機器
- 真空モーター
出典資料
- カタログ 特殊環境用 EXSEV 商品ガイド