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EXSEV®-WS

EXSEV® / 株式会社ジェイテクト

二硫化タングステン系固体潤滑で350℃と耐荷重性を両立した真空対応軸受。

仕様

雰囲気圧力 大気圧～10-5 Pa
使用温度範囲 -100～350 ℃
許容回転速度 dmn値＜7200、最大500 min-1
許容ラジアル荷重 基本動定格荷重の約5%以下

EXSEV® の型番比較

同じシリーズの 9 型番を仕様で比較できます。

型番 使用温度範囲 雰囲気圧力 許容回転速度 許容ラジアル荷重 クリーン度
EXSEV®-EX -50～260 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜72000 min-1 — クラス100
EXSEV®-EX（グリース） -50～260 ℃ 大気圧～10-5 Pa — — クラス100
EXSEV®-FA -100～200 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約1%以下 クラス1000
EXSEV®-MG -200～350 ℃ 10-5～10-10 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約3%以下 —
EXSEV®-MO -100～300 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約3%以下 —
EXSEV®-PN -30～300 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約3%以下 —
EXSEV®-SK -30～120 ℃ — — — —
EXSEV®-WS この製品 -100～350 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜7200、最大500 min-1 基本動定格荷重の約5%以下 —
EXSEV®-XT 200～300 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜7200 min-1 — —

製品説明

耐熱性と耐荷重性が要求される真空環境に適応し、二硫化タングステン系固体潤滑剤で高温に対応する。

特長

  • 350℃対応
  • 耐荷重性

用途

  • 半導体製造装置
  • 液晶製造装置
  • 真空蒸着装置
  • PDP製造装置

出典資料

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