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EXSEV®-EX

EXSEV® / 株式会社ジェイテクト

真空環境向けふっ素系グリースを封入し、高い潤滑性と低発じんを両立した軸受。

仕様

クリーン度 クラス100
雰囲気圧力 大気圧～10-5 Pa
使用温度範囲 -50～260 ℃
許容回転速度 dmn値＜72000 min-1

EXSEV® の型番比較

同じシリーズの 9 型番を仕様で比較できます。

型番 使用温度範囲 雰囲気圧力 許容回転速度 許容ラジアル荷重 クリーン度
EXSEV®-EX この製品 -50～260 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜72000 min-1 — クラス100
EXSEV®-EX（グリース） -50～260 ℃ 大気圧～10-5 Pa — — クラス100
EXSEV®-FA -100～200 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約1%以下 クラス1000
EXSEV®-MG -200～350 ℃ 10-5～10-10 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約3%以下 —
EXSEV®-MO -100～300 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約3%以下 —
EXSEV®-PN -30～300 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜18000、最大1000 min-1 基本動定格荷重の約3%以下 —
EXSEV®-SK -30～120 ℃ — — — —
EXSEV®-WS -100～350 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜7200、最大500 min-1 基本動定格荷重の約5%以下 —
EXSEV®-XT 200～300 ℃ 大気圧～10-5 Pa dmn値＜7200 min-1 — —

製品説明

真空環境用のふっ素系グリース（EXSEV-EX）を封入し、クリーン・真空用途で高い潤滑性と低発じんを実現する。PFOA非含有で環境規制に対応する。

特長

  • 真空環境用ふっ素グリース封入
  • PFOA非含有

用途

  • 半導体製造装置
  • 搬送ロボット
  • 液晶製造装置
  • 真空ポンプ

出典資料

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