รุ่น: VF-5900
ระบบอบความร้อนแนวตั้งสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. รองรับกระบวนการต่าง ๆ ได้แก่ การออกซิเดชัน การแพร่ และ LP-CVD
บริษัท เจเทกต์ จำกัด