ระบบอบความร้อนแนวตั้ง VF-5900
รุ่น VF-5900 / บริษัท เจเทกต์ จำกัด (เว็บไซต์ทางการ) / อยู่ในหน้า 1 ของเอกสาร
ระบบอบความร้อนแนวตั้งสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. รองรับกระบวนการต่าง ๆ ได้แก่ การออกซิเดชัน การแพร่ และ LP-CVD
ตรวจสอบล่าสุด: (วันที่ตรวจสอบเนื้อหากับเอกสารต้นทาง)
ภาพย่อของหน้าที่เกี่ยวข้องอ้างอิงจากเอกสาร ลิขสิทธิ์เป็นของ บริษัท เจเทกต์ จำกัดขอให้ระงับการแสดงข้อมูล
ข้อมูลจำเพาะ
| เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ที่รองรับ | 300 mm |
|---|
คุณสมบัติเด่น
- รองรับห้องคลีนรูม
- รองรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม.
การใช้งาน
- การออกซิเดชัน
- การแพร่
- LP-CVD
คำถามที่พบบ่อย
- Q. VF-5900 สามารถใช้กับกระบวนการใดได้บ้าง
- A. เป็นระบบอบความร้อนแนวตั้งที่รองรับกระบวนการต่าง ๆ เช่น การออกซิเดชัน การแพร่ และ LP-CVD
- Q. VF-5900 รองรับเวเฟอร์ขนาดใดและมีคุณสมบัติอย่างไร
- A. รองรับเวเฟอร์ขนาด 300 mm และมีคุณสมบัติรองรับห้องคลีนรูม
จัดทำโดย AI จากเนื้อหาในเอกสารต้นทาง
เอกสารต้นทาง
- แคตตาล็อก 半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①② เปิดหน้า 1
ผลิตภัณฑ์อื่นจาก บริษัท เจเทกต์ จำกัด
ดูทั้งหมด →-
ตลับลูกปืนร่องลึก
ลูกปืนร่องลึก
ลูกปืนบอลแถวเดี่ยวที่รับแรงเรเดียลและแรงแอกเชียลได้ทั้งสองทิศทาง เหมาะกับงานหมุนความเร็วสูงและการสั่นสะเทือนต่ำ มีตารางขนาดสำหรับเส้นผ่านศูนย์กลางในระหว่าง 100~1420 mm
บริษัท เจเทกต์ จำกัด
-
ตลับลูกปืนเม็ดกลมสัมผัสเฉียง
ตลับลูกปืนสัมผัสเชิงมุม
ตลับลูกปืนสัมผัสเชิงมุมที่รับแรงตามแนวแกนในทิศทางเดียวหรือสองทิศทาง ขึ้นอยู่กับมุมสัมผัส มีแบบแถวเดียวและแบบจับคู่ด้านหลังและด้านหน้า (DB และ DF) พร้อมข้อมูลขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางรูใน ประมาณ 100 ถึง 300 mm
บริษัท เจเทกต์ จำกัด
-
ตลับลูกปืนเม็ดกลมสัมผัสเฉียง
ซีรีส์แบริ่งลูกปืนสัมผัสเชิงมุมแถวเดี่ยวและแบบชุดประกอบ
ลูกปืนแบริ่งสัมผัสเชิงมุมขนาดใหญ่ เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 310~670 mm แบบแถวเดี่ยวและแบบชุดประกอบ สามารถรับแรงเรเดียลและแรงแอกเซียลพร้อมกันได้
บริษัท เจเทกต์ จำกัด
-
ตลับลูกปืนเม็ดกลมสัมผัสเฉียง
หมายเลขแถวคู่แบริ่งลูกปืนเอียง
แบริ่งลูกปืนเอียงแถวคู่ เส้นผ่านศูนย์กลางใน 120–280 มม. รับแรงเรเดียลและแรงแอกเซียลได้ทั้งสองทิศทาง
บริษัท เจเทกต์ จำกัด
-
ตลับลูกปืนกลิ้งทรงกระบอก
ซิงเกิลโรว์ซิลินเดอร์ริคัลโรลเลอร์เบียริง
ซิงเกิลโรว์ซิลินเดอร์ริคัลโรลเลอร์เบียริง เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 100–850 mm รับแรงเรเดียลสูง เหมาะกับโหลดหนักและโหลดกระแทก
บริษัท เจเทกต์ จำกัด
-
ตลับลูกปืนกลิ้งทรงกระบอก
ลูกปืนลูกกลิ้งทรงกระบอกสองแถว
ลูกปืนลูกกลิ้งทรงกระบอกสองแถว ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางใน 100–670 มม. มีรูทรงกระบอกและรูเรียว รูเรียวสามารถได้ระยะเผื่อที่กำหนดด้วยปริมาณการอัดเข้า
บริษัท เจเทกต์ จำกัด