Dikey Isıl İşlem Sistemi VF-5900
Model VF-5900 / JTEKT Co., Ltd. (Resmi web sitesi) / Belgenin 1. sayfasında yer alıyor
Oksidasyon, difüzyon ve LP-CVD gibi çeşitli prosesleri destekleyen, 300 mm gofret için dikey ısıl işlem sistemi.
Son doğrulama: (içeriğin kaynak belgeyle doğrulandığı tarih)
İlgili sayfanın küçültülmüş görüntüsü belgeden alıntılanmıştır. Telif hakkı JTEKT Co., Ltd. firmasına aittir.Kaldırma talebi
Teknik özellikler
| Uyumlu wafer çapı | 300 mm |
|---|
Öne çıkan özellikler
- Temiz oda uyumlu
- 300 mm gofret uyumlu
Kullanım alanları
- Oksidasyon
- Difüzyon
- LP-CVD
SSS
- Q. VF-5900 hangi proseslerde kullanılabilir?
- A. Oksidasyon, difüzyon ve LP-CVD gibi çeşitli prosesleri destekleyen dikey ısıl işlem sistemidir.
- Q. VF-5900'ün desteklediği gofret çapı ve özellikleri nelerdir?
- A. Desteklenen gofret çapı 300 mm'dir. Temiz oda uyumlu olma özelliğine sahiptir.
Kaynak belgelerin içeriğine dayanarak AI tarafından hazırlanmıştır.
Kaynak belgeler
-
Katalog
半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①②
1. sayfayı aç
Yer aldığı kaynak: https://koyo.jtekt.co.jp/support/catalog-download/
JTEKT Co., Ltd. firmasının diğer ürünleri
Tümünü gör →-
Derin oluklu bilyalı rulman
Derin oluklu bilyalı rulman
Radyal yük ile her iki yönde eksenel yükü karşılayabilen tek sıralı bilyalı rulman. Yüksek devirli ve düşük titreşimli uygulamalara uygundur. İç çap 100～1420 mm aralığında boyut tablosu içerir.
JTEKT Co., Ltd.
-
Açılı Bilyalı Rulmanlar
Açılı bilyalı rulman
Temas açısına bağlı olarak tek yönlü veya çift yönlü eksenel yüklere uygulanabilen açılı bilyalı rulman. Tek sıralı ve sırt sırta (DB) ile yüz yüze (DF) kombinasyon tipleri bulunur; yaklaşık 100-300 mm iç çap aralığındaki boyutlar listelenmiştir.
JTEKT Co., Ltd.
-
Açılı Bilyalı Rulmanlar
Tek Sıralı ve Çift Sıralı Açılı Bilyalı Rulmanlar
İç çapı 310 ila 670 mm olan büyük boyutlu tek sıralı ve çift sıralı açılı bilyalı rulmanlar. Radyal yük ve eksenel yükü aynı anda taşıyabilir.
JTEKT Co., Ltd.
-
Açılı Bilyalı Rulmanlar
Çift Sıralı Açılı Bilyalı Rulman
İç çapı 120-280 mm olan çift sıralı açılı bilyalı rulman. Her iki yönde radyal ve eksenel yükleri taşıyabilir.
JTEKT Co., Ltd.
-
Silindirik makaralı rulman
Tek sıralı silindirik makaralı rulman
İç çapı 100-850 mm olan tek sıralı silindirik makaralı rulman. Radyal yükü yüksek olup ağır yük ve darbe yüklerine uygundur.
JTEKT Co., Ltd.
-
Silindirik makaralı rulman
Çift sıralı silindirik makaralı rulman
İç çapı 100-670 mm olan çift sıralı silindirik makaralı rulman. Silindirik delikli ve konik delikli tipleri vardır; konik delikli rulmanda geçme miktarı ile istenen iç boşluk elde edilebilir.
JTEKT Co., Ltd.