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縱型熱處理系統 VF-5900

型號 VF-5900 / JTEKT股份有限公司 (官方網站) / 刊載於資料第1頁

支援氧化、擴散、LP-CVD等各類製程之300mm晶圓用縱型熱處理系統。

資訊確認日期: (依刊載來源資料確認內容的日期)

刊載縱型熱處理系統 VF-5900的JTEKT股份有限公司「半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①②」第1頁
出處: JTEKT股份有限公司「半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①②」第1頁
本圖為資料相關頁面的縮小引用，著作權歸JTEKT股份有限公司所有。申請停止刊載

規格

對應晶圓直徑 300 mm

特色

  • 支援潔淨環境
  • 支援300mm晶圓

用途

  • 氧化
  • 擴散
  • LP-CVD

常見問題

Q. VF-5900可用於哪些製程？
A. 適用於氧化、擴散、LP-CVD等各類製程的縱型熱處理系統。
Q. VF-5900的適用晶圓尺寸與特點為何？
A. 適用晶圓直徑為300 mm，具備潔淨環境支援之特點。

由 AI 根據出處資料的內容撰寫。

出處資料

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