Système de traitement thermique vertical VF-5900
Référence VF-5900 / JTEKT Co., Ltd. (Site officiel) / Figure en page 1 du document
Système de traitement thermique vertical pour plaquettes de 300 mm, compatible avec les procédés d'oxydation, de diffusion et de LP-CVD.
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Caractéristiques
| Diamètre de plaquette compatible | 300 mm |
|---|
Points forts
- Compatible salle blanche
- Compatible avec les plaquettes de 300 mm
Applications
- Oxydation
- Diffusion
- LP-CVD
FAQ
- Q. Quels procédés peut-on réaliser avec le VF-5900 ?
- A. Il s'agit d'un système de traitement thermique vertical compatible avec différents procédés, notamment l'oxydation, la diffusion et le LP-CVD.
- Q. Quel est le diamètre de plaquette compatible avec le VF-5900 et quelles sont ses caractéristiques ?
- A. Le diamètre de plaquette compatible est de 300 mm. Le système présente la caractéristique d'être compatible salle blanche.
Rédigé par une AI à partir du contenu des documents sources.
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