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종형 열처리 시스템 VF-5900

모델명 VF-5900 / 주식회사 제이텍트 (공식 웹사이트) / 자료 1페이지에 게재

산화, 확산, LP-CVD 등 각종 공정에 대응하는 300mm 웨이퍼용 종형 열처리 시스템.

게재 정보 확인일: (게재처 자료에서 내용을 확인한 날짜)

주식회사 제이텍트 "半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①②" 1페이지에 게재된 종형 열처리 시스템 VF-5900
출처: 주식회사 제이텍트「半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①②」1페이지
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사양

대응 웨이퍼 직경 300 mm

특징

  • 클린 대응
  • 300mm 웨이퍼 대응

용도

  • 산화
  • 확산
  • LP-CVD

자주 묻는 질문

Q. VF-5900은 어떤 공정에 사용할 수 있습니까?
A. 산화, 확산, LP-CVD 등 각종 공정에 대응하는 종형 열처리 시스템입니다.
Q. VF-5900의 대응 웨이퍼 직경과 특징을 알려 주십시오.
A. 대응 웨이퍼 직경은 300 mm입니다. 클린 대응 특징이 있습니다.

출처 자료에 기재된 내용을 바탕으로 AI가 작성했습니다.

출처 자료

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