열처리 장치

• 확산로

• 확산로

  종형 열처리 시스템 VF-5900

  모델명: VF-5900

  산화, 확산, LP-CVD 등 각종 공정에 대응하는 300mm 웨이퍼용 종형 열처리 시스템.

  주식회사 제이텍트