Sistema vertical de tratamiento térmico VF-5900
Referencia VF-5900 / JTEKT Co., Ltd. (Sitio web oficial) / Publicado en la página 1 del documento
Sistema vertical de tratamiento térmico para obleas de 300 mm compatible con diversos procesos como oxidación, difusión y LP-CVD.
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Especificaciones
| Diámetro de oblea compatible | 300 mm |
|---|
Características
- Compatible con entornos limpios
- Compatible con obleas de 300 mm
Aplicaciones
- Oxidación
- Difusión
- LP-CVD
Preguntas frecuentes
- Q. ¿Para qué procesos se puede utilizar el VF-5900?
- A. Es un sistema vertical de tratamiento térmico compatible con diversos procesos, como oxidación, difusión y LP-CVD.
- Q. ¿Cuál es el diámetro de oblea compatible con el VF-5900 y cuáles son sus características?
- A. Es compatible con obleas de 300 mm. Cuenta con la característica de ser compatible con entornos limpios.
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Documentos de origen
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Catálogo
半導体製造工程内で活用できる製品シリーズ ①②
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Publicado en: https://koyo.jtekt.co.jp/support/catalog-download/
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