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EXSEV-MG 銀イオンプレーティング軸受

SE系(SE604ZZSTMG3M6 YS 等) / 株式会社ジェイテクト

玉に銀をイオンプレーティングした、超高真空(10-10Pa)や超高温環境に対応するラジアル玉軸受。

仕様

使用可能真空度 10-10 Pa
内径d 4~40 mm
外径D 12~80 mm
許容回転速度 300~1,000 min-1

製品説明

ステンレス鋼の玉に銀イオンプレーティングを施して潤滑し、高真空中で放出ガスが少ない。潤滑寿命の計算式も掲載されている。

特長

  • 超高真空10-10Paに対応
  • 放出ガスが少ない
  • 寿命予測式あり

用途

  • 半導体製造装置
  • 液晶製造装置
  • 真空蒸着装置
  • 医療機器
  • 真空モーター

出典資料

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