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EXSEV-WS 耐熱二硫化タングステン軸受

SE系(SE606ZZSTM6 WS 等) / 株式会社ジェイテクト

二硫化タングステンのセパレータで潤滑する、350℃対応の耐熱・耐荷重性を両立した真空対応ラジアル玉軸受。

仕様

最高使用温度 350 ℃
内径d 6~40 mm
外径D 17~80 mm

製品説明

二硫化タングステン系の自己潤滑複合材を用いたセパレータで潤滑し、放出ガスが少なく真空中でも使える。

特長

  • 350℃対応
  • 真空・クリーン対応
  • 放出ガスが少ない

用途

  • 半導体製造装置
  • 液晶製造装置
  • 真空蒸着装置
  • PDP製造装置

出典資料

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