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Newクリーンプロ®-PR

Newクリーンプロ® / 株式会社ジェイテクト

ふっ素高分子被膜の潤滑で低発じん・低放出ガスを実現したクリーン用軸受。

仕様

クリーン度 クラス10
雰囲気圧力 大気圧～10-5 Pa
使用温度 -100～200 ℃
許容回転速度 dmn値＜18000、最大1000 min-1
許容ラジアル荷重 基本動定格荷重の約3%以下

製品説明

ふっ素高分子被膜による潤滑で、クリーンルームや真空機器で低発じん・低放出ガスを実現する。マルテンサイト系ステンレス鋼製で、セラミックボールタイプにも対応する。

特長

  • 低発じん
  • 低放出ガス

用途

  • 半導体製造装置
  • 真空機器
  • スパッタ装置
  • 液晶製造装置
  • 露光装置
  • 真空モーター

出典資料

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