クリーンプロ®-RZ
クリーンプロ® / 株式会社ジェイテクト
ふっ素高分子被膜を施したクリーン環境向け軸受。標準品より長寿命で、半導体・真空機器に使われる。
仕様
| クリーン度 | クラス10 |
|---|---|
| 雰囲気圧力 | 大気圧～10-5 Pa |
| 使用温度 | -30～200 ℃ |
| 許容回転速度 | dmn値＜18000、最大1000 min-1 |
| 許容ラジアル荷重 | 基本動定格荷重の約5%以下 |
製品説明
軸受の転がり面にゲル状のふっ素高分子被膜を施し、従来の標準タイプに比べ10倍以上の長寿命を実現した。マルテンサイト系ステンレス鋼製で、セラミックボールタイプにも対応する。
特長
- ゲル状ふっ素高分子被膜で長寿命
- 標準タイプの10倍以上の寿命
用途
- 半導体製造装置
- 搬送装置
- 真空機器
- 露光装置
- 真空モーター
出典資料
- カタログ 特殊環境用 EXSEV 商品ガイド