クリーンプロ®-RB
クリーンプロ® / 株式会社ジェイテクト
耐熱性のあるふっ素被膜で260℃のクリーン・真空環境に対応する軸受。
仕様
| クリーン度 | クラス10 |
|---|---|
| 雰囲気圧力 | 大気圧～10-5 Pa |
| 使用温度 | -100～260 ℃ |
| 許容回転速度 | dmn値＜18000、最大1000 min-1 |
| 許容ラジアル荷重 | 基本動定格荷重の約3%以下 |
製品説明
転がり面に耐熱ふっ素高分子被膜をコーティングし、高温での使用を可能にした。マルテンサイト系ステンレス鋼製で、セラミックボールタイプにも対応する。
特長
- 260℃クリーン・真空対応
- 耐熱ふっ素高分子被膜
用途
- 半導体製造装置
- 液晶製造装置
- 搬送装置
- 真空機器
- スパッタ装置
- 露光装置
- 真空モーター
出典資料
- カタログ 特殊環境用 EXSEV 商品ガイド